性能
高品質:高品質數字型MFC,工業級品質,質量保證。
快響應:預熱時間小于1分鐘,開機即可工作,無需等待。
高可靠:整體不銹鋼混氣室,高耐腐蝕防吸附管路,適應腐蝕性吸附性氣體。
安全性
防泄漏:內部管路接頭均采用不銹鋼卡套接頭,無快接裝置。外部接頭采用帶自封閉的自鎖接頭,拔下管路氣體不會泄露。
自清洗:通過軟件控制,設備使用完畢可以進行自動清洗,仿制有毒有害氣體留存設備造成人身財產傷害。
便利性
觸摸工作:選用了最新的電容型真彩大屏,無任何物理按鍵,操作通過觸摸屏完成所有工作。
簡潔設計:設計之初我們就提出了“三步工作法”,力求讓客戶最多進行三步操作就可以工作。
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通道數
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二、三、四、五、六、七、八通道
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配氣精度
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±1%F.S.
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MFC線性度
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±0.5%F.S.
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MFC重復精度
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±0.2%F.S.
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響應時間
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≤2 sec
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漏氣率
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1×10-9SCCSHe
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通道材料
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316L 不銹鋼
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進出氣口連接氣嘴
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Φ6/不銹鋼穿板卡套
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靜密封材料
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氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠)
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預熱時間
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5min
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工作環境溫度
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-20℃~55℃
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環境濕度
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(15~85)% RH
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大氣壓力
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(86~106)Kpa
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供電
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220VAC 50Hz
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配氣稀釋比
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可選1000:1、500:1、300:1、100:1。默認為100:1
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*具體量程可能會有細微偏差 | 工作在溫度25℃和1013 mbar 測試數據
1-技術原理
當氣體通過加熱的管子時。由熱力學定律Q=KF Cp△T可以計算氣體帶走的熱量。氣體的比熱和流量的大小與帶走的熱量成正比。不同的氣體,密度和比熱Cp不同。如果對帶走的熱量的進行檢測,把它轉化為電信號我們就可以利用氣體的比熱和密度,由電信號的大小確定氣體質量流量的大小。
2-混氣結構
配氣的關鍵就在于氣體的充分混合,如果沒有設計精密的混氣室,那么配出來的氣體就會出現濃度的波動,給測試帶來誤差。我們通過S型管路以及多級切氣的結構,對氣體進行充分的打散匯聚從而進行氣體混合,得到了非常好的應用效果。
3-工業設計
防吸附耐腐蝕管路:為了解決氣體吸附和腐蝕管路的問題,我們選擇高品質聚四氟乙烯管路或不銹鋼管路進行氣路連接。
高可靠接頭:航空級的氣動接頭,帶自動鎖止裝置,滿足高頻次拔插使用。既照顧了使用的便捷性又獲得了安全性。
4-軟件設計
UI設計:簡潔大方的UI設計是為了讓客戶一目了然,配合“三步工作法”的設計理念,客戶可以實現5分鐘上手的傻瓜式操作。
氣體范圍:為了提高設備的適用性,我們涵蓋了多達六十余種常用氣體,并可以根據客戶需求進行無限擴充。